省媒看抚顺 | 抚顺特钢×中科院：316LVV不锈钢“卡脖子”终结！

历时5年，中国科学院金属研究所和抚顺特殊钢股份有限公司的科研人员联合攻关，历经上千次试验，突破国外技术壁垒，成功研制出半导体领域用超高纯不锈钢316LVV，目前，抚顺特钢已经实现定制化生产，并先后为国内10多家半导体设备企业供货。

316LVV超高纯不锈钢冷拉磨光圆钢。

316LVV超高纯不锈钢因具有极低的杂质含量、出众的耐腐蚀性等特性，广泛应用于半导体装备制造、电子特气输送等行业。近年来，随着半导体产业的蓬勃发展，半导体设备需求剧增，带动生产半导体设备的原材料用量大幅度提升，而作为生产半导体设备必需的316LVV超高纯不锈钢却常年依赖进口，为限制我国半导体产业的发展，西方国家对我国316LVV超高纯不锈钢时常实行限供甚至断供。

为摆脱受制于人的被动局面，2021年，抚顺特钢成立科研团队决心攻克这一难题，实现自主生产。“抚顺特钢具有多年生产高纯不锈钢的技术积累、生产工艺和生产装备，我们对突破国外技术壁垒是充满信心的。”团队负责人、抚顺特钢技术中心不锈钢室主任潘彦丰说。

用于生产316LVV超高纯不锈钢的7000吨快锻机。

然而，研制难度超出了潘彦丰的预估，316LVV超高纯不锈钢的化学成分、夹杂物控制、临界点蚀温度、放气率等要求近乎苛刻，虽然科研团队经过10多炉的小炉型试验，研制品技术质量指标仍未达到国外同类产品实物水平。

2023年，在辽宁省工信厅的推动下，抚顺特钢和中国科学院金属研究所达成合作意向。2024年3月双方签订《超纯不锈钢技术许可合同》，同年5月在双方努力下，成功研制出达到国外同类产品性能的316LVV超高纯不锈钢，双真空工艺达到6吨级，具备批量生产能力。

“千淘万漉虽辛苦，吹尽狂沙始到金，当第三方检测评价报告出来的那一刻，大家都非常激动，感到能为国家在半导体领域用超纯不锈钢取得突破实现自主可控出一份力而自豪。”潘彦丰说。

用于生产316LVV超高纯不锈钢的20吨真空感应炉。 

试制成功后，科研团队没有松懈，迅速送往半导体设备生产企业进行试用验证，并根据试用结果不断改进生产工艺，经过一年多的持续改进，目前，抚顺特钢已经能够根据客户需求，定制生产适用不同工况的棒材、方材、扁材、异型材等类型的316LVV超高纯不锈钢。

抚顺特钢销售公司开发科业务经理崔博凯告诉记者：“较国外进口同类产品，我们的316LVV产品纯净度及耐腐蚀性都提升了10%以上，而每吨售价又降低了3万元至5万元，加上交货时间比进口料缩短3个月以上，所以下游客户使用后都非常满意，订单量也是不断增长。”

据悉，目前，抚顺特钢316LVV超高纯不锈钢工艺一致性、质量稳定性达到国际先进水平，产能规模国内领先。

来源：辽望·辽宁日报

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校对 | 张媛淼